Hiden SIMS Workstation二次离子质谱仪

核心参数质量分辨率0.5 amu

质量分析范围1000 amu

原始束流或速能量25KeV

仪器种类四极杆 产品介绍

仪器简介：1.适合做多层薄膜的深度分析。2.很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。3.方便使用。4.样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。5.我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。6.我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。7.我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多分析的使用。结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。技术参数：质量数范围：300，510或1000amu分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。检测器：离子计数检测器，正、负离子检测检测限：1:10E7质量过滤器：过滤四极杆（9mm杆）主离子枪： A，氧离子或气体，能量到5KeV B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）空间分辨率：A：100～150um B: 50nm取样深度：2个单分子层（静态） 不受限制（动态）主要特点：? 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围? SIMS 成像，分辨率在微米以下? 光栅控制，增强深度分析能力? 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输? 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu? 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器? Penning规和互锁装置可提供过压保护? 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制